【儀器網(wǎng) 行業(yè)應用】SP-ICP-MS是分析半導體行業(yè)有機溶劑中金屬納米顆粒的有力工具。特別是在珀金埃爾默NexION ICP-MS中，通用池技術(UCT)的優(yōu)勢得以充分發(fā)揮，包括利用AFT和RPq因子對信號進行干擾消除和控制。使用100%氨氣作為反應氣體則有助于降低鐵等元素的檢測限。通過這些技術和方法，我們可以更準確地檢測和測量半導體化學品中的納米級污染物。

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　　問題分析

　　在半導體工業(yè)中，金屬污染是一個嚴重的問題。這些污染物主要是過渡金屬和堿性元素，它們可能會以納米級大小聚集在晶圓表面，導致晶圓線之間的損壞或短路。隨著線寬的不斷縮小，我們需要檢測更小、更低的污染物。而在這個挑戰(zhàn)中，四甲基氫氧化物(TMAH)作為其中一種重要的化學品，其雜質(zhì)的分析顯得尤為重要。

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　　解決方案

　　為了解決這個問題，我們引入了一種強大的檢測技術：電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP-MS)。這種技術具有高靈敏度、靈活的樣品類型、快速測量速度和寬線性動態(tài)范圍等優(yōu)點。特別是單顆粒模式(SP-ICP-MS)下的ICP-MS，它已經(jīng)成為檢測和測量納米顆粒的強大工具。

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　　實驗過程

　　在實驗中，我們使用了超純水和純度較高的TMAH。通過連續(xù)稀釋樣品，我們成功地對不同元素顆粒進行了多次稀釋。在珀金埃爾默NexION 5000 ICP-MS的單顆粒模式下，我們采集了所有的SP-ICP-MS數(shù)據(jù)，并使用了Syngistix Nano應用軟件模塊進行數(shù)據(jù)處理。

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